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同（tóng）swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接頭一樣，因其超潔淨（jìng）、高精度、真空高壓皆無泄漏及超長壽...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接頭一（yī）樣，因其超潔淨、高精度、真空高（gāo）壓皆無泄漏（lòu）及超長壽...
超純中低流量單級減壓閥 PRLI
PRLI係（xì）列（liè）超純低（dī）流（liú）量單級減壓閥采用單級膜片式硬密封設計（jì），超低漏（lòu）率，內部EP電解拋光處理，超低內表（biǎo）麵粗糙度。高壓輸入（最高（gāo）可（kě）達（dá）3500Psi），低壓標準流量（liàng）輸出，輸出壓力穩定，適用於半導體行業使用的高純度（dù）氣體。每台減壓（yā）閥出廠前（qián）都會進行單獨（dú）的壓力測試、氦質譜泄漏測試和顆（kē）粒物檢測。
材料（liào）
閥（fá）體：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
閥（fá）座：PCTFE/PI
膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -40~80°C
PI: -26~177℃
閥體內漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He
閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He
閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He
內（nèi）表麵粗糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
安裝方式：後座安裝、麵板安裝
最大進口（kǒu）壓力: 3500psi（241Bar）
出口壓力: 1-150psi（詳見選型表）
驗證壓力：工（gōng）作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
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規（guī）格 |
1/4” |
3/8” |
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CV值（流量係數（shù）） |
0.09（標準）/0.15（高流量HF） |
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內部容積 |
0.49 in3 (8 cm3 ) |
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供壓效應（yīng）：標準:0.25%, 高流量HF:0.75%
流量曲線（xiàn）：
端口配置：
連接選擇：
VCR公頭（tóu）、VCR母頭、對焊管接頭
| 編碼（mǎ） | 進口壓力 | 出口（kǒu）壓力 | 兩（liǎng）端接頭 | A(mm) |
| PRLI1004M/F | 真（zhēn）空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI3004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI6004M/F | 真空（kōng）-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI10004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI15004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI1006M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"VCR公（gōng）/母（mǔ）頭 | 119 |
| PRLI3006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI6006M/F | 真（zhēn）空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI10006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI15006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"VCR公（gōng）/母頭 | 119 |
| PRLI1004W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI3004W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI6004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"對（duì）焊 | 75 |
| PRLI10004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI15004W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI1006W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI3006W | 真空（kōng）-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI6006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI10006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"對（duì）焊 | 75 |
| PRLI15006W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
尺（chǐ）寸（cùn）僅供（gòng）參考（kǎo）, 實物可能會變動。
高流量款，請在編號後+HF；多孔端口，請在編碼（mǎ）後加孔數+PW
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