超純低流量（liàng）單級減壓閥（fá） PRL

超純低流量單級減壓（yā）閥 PRL

PRL係列超純低（dī）流量單級減壓閥采用單級（jí）膜（mó）片式硬密封設（shè）計，超低漏率，內部EP電解拋光處理，超低內表麵粗糙度。適用於半導（dǎo）體行業使用的高純度（dù）氣體，具有卓越的重複性，穩定性及靈（líng）敏度。每台減壓閥出廠前都會進行單獨的壓力測試（shì）、氦（hài）質譜泄（xiè）漏測（cè）試和顆粒物（wù）檢測（cè）。

材料

閥體：SS316L、SS316L VAR

閥座：PCTFE/PI

膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

閥體內漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He

閥體外漏率（lǜ）：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He

閥座泄（xiè）漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He

內表麵粗糙度

BA級（jí）：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

安裝方式：後座安裝、麵板安裝

最大進口壓力: 300psi（20.7Bar）

出口壓力（lì）:100mm Hg - 10psi

驗證壓力：工作壓力的150％

爆破（pò）壓力：工作壓（yā）力的300％

流（liú）量曲線：

端口配置：

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭