超純（chún）高壓氣動隔膜（mó）閥 DHP

超純高壓（yā）氣（qì）動隔膜閥 DHP

DHP係列超（chāo）純高壓氣動隔（gé）膜閥適用於半導體行（háng）業高純氣體（tǐ）高壓工況下的輸送，產品在采用緊湊設（shè）計的同時，實現高CV值。在高標（biāo）準的潔（jié）淨室內生產，EP電解拋光處（chù）理內（nèi）表麵，粗糙度可達Ra≤5μin。每個產（chǎn）品都需要經過（guò）氦質譜泄漏測試，從而保（bǎo）障（zhàng）應用安全性（xìng）。

材（cái）料

閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥座：PCTFE/PFA/PI

膜片：鈷（gǔ）基超級合金（jīn）、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80°C

PFA/PI: -10~150°C

最高使用壓力：3500psi（240Bar）

閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

內表麵粗糙度

BA級：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

連接選擇：VCR公（gōng）頭、VCR母頭、卡套接頭、對（duì）焊管接頭

氣動操作選擇（zé）：常閉（NC）