超純低壓手動隔膜閥（fá） DLM

超純低壓手動隔膜閥 DLM

DLM係列超純低壓手動隔膜閥適用於半導體行業高純氣體（tǐ）低壓工況下的輸（shū）送，產品在采用緊湊（còu）設計的同時，實現高（gāo）CV值。在高標準（zhǔn）的潔淨室內生產，EP電解拋光處理（lǐ）內表麵，粗糙度可達Ra≤5μin。每（měi）個產品都需要經過氦質譜泄漏（lòu）測試（shì），從而保障應用安全性。

材料

閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥（fá）座：PCTFE/PFA/PI

膜片（piàn）：鈷基超級（jí）合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

最高使用（yòng）壓力：300psi（20.7Bar）

閥體內漏（lòu）率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

閥體（tǐ）外（wài）漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

內（nèi）表麵粗糙度

BA級：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭